2021-12-20
半導體(FAB)潔凈室中相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內,允許誤差在±1%的狹窄的范圍內,例如光刻區──或者在遠紫外線處理(DUV)區甚至更小──而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。
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電子廠房潔凈工程
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