凈化車間對(duì)溫濕度的控制決取于與中央空調(diào)廠房普通生產(chǎn)區(qū)域差異之處，它不僅需要滿足生產(chǎn)者（員工）的舒適感，而且還需兼顧生產(chǎn)工藝及產(chǎn)品特性的要求。在滿足加工工藝的條件下，還應(yīng)該考慮到人的舒適感。因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故，相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。下面我們來看常見凈化車間對(duì)溫濕度有要求的工藝。

以下示例為我們常見領(lǐng)域應(yīng)用的無塵車間溫濕度要求：

示例一（電子行業(yè)制造）

       在電子制造領(lǐng)域生產(chǎn)區(qū)最重要的環(huán)節(jié)是防靜電，這將對(duì)電子產(chǎn)品產(chǎn)生不利影響并降低產(chǎn)品的產(chǎn)量，對(duì)產(chǎn)品造成短路甚至造成員工導(dǎo)電暈倒事故。故而電子行業(yè)凈化車間的相對(duì)濕度不應(yīng)低于30%，為了減少靜電的產(chǎn)生，凈化車間的抗靜電區(qū)域的相對(duì)濕度不低于50%，過于干燥的空氣中易粉塵飛揚(yáng)，電子行業(yè)凈化車間無特殊要求的情況下，溫度控制在23 ±2℃左右，相對(duì)濕度控制在55±5%RH之間，在這種生產(chǎn)環(huán)境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。

示例二（大規(guī)模集成電路）

       大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種無塵車間不宜超過25℃。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55% RH時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50% RH時(shí)易生銹。

示例三 （精密儀器）

　　在精密機(jī)械加工和計(jì)量等場(chǎng)合，為了防止因熱膨脹而引起的誤差，必須使工件保持一定的溫度。工件溫度的允許波動(dòng)幅度應(yīng)根據(jù)加工精度決定。

　　例如，在恒溫室里對(duì)一根長(zhǎng)500mm的標(biāo)準(zhǔn)尺刻線，工藝允許線間公差為2um，其中1um為尺溫變化所引起的形變誤差，另1um為加工與量測(cè)誤差。1um折合尺溫變化量＝0.20C[a為尺線膨脹系數(shù)，取10／um／(m/K)；l為尺長(zhǎng)，m]，故工件溫度變化需在以內(nèi)。但由于工件測(cè)量?jī)x器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的波動(dòng)傳人工件后，就要衰減。在設(shè)計(jì)恒溫系統(tǒng)時(shí)，一般總是以恒定環(huán)境空氣溫度為依據(jù)，故相應(yīng)的環(huán)境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。

　　因此，在確定恒溫室參數(shù)和選擇自動(dòng)控制時(shí)，必須考慮工件恒溫恒濕車間、圍護(hù)結(jié)構(gòu)、空氣處理設(shè)備和自控系統(tǒng)之間的動(dòng)態(tài)特性。

示例四（生物制藥）

       溫度是外界環(huán)境中影響制劑穩(wěn)定的重要因素之一。一般來說，溫度升高，藥物的降解速度增加,而且溫度的變化對(duì)制劑穩(wěn)定性影響較大，特別是生物制品，對(duì)熱非常敏感。因此，藥物生產(chǎn)車間不僅要嚴(yán)格控制室內(nèi)溫度范圍，還需盡量保證較小的溫度波動(dòng)。?相對(duì)濕度也是影響制劑穩(wěn)定的重要因素，對(duì)于固體制劑而言，空氣中的水分可在 其表面形成膜，成為分解反應(yīng)發(fā)生的條件，而降解反應(yīng)的速度與環(huán)境的相對(duì)濕度成正比。另外，相對(duì)濕度對(duì)藥品生產(chǎn)的重要性還表現(xiàn)在高濕度時(shí)生產(chǎn)環(huán)境易長(zhǎng)霉菌而造成對(duì)藥物的污染，當(dāng)相對(duì)濕度達(dá)到60%以上藥品就可長(zhǎng)霉，相對(duì)濕度80%以上時(shí)，無論溫度高低，藥品基本都要長(zhǎng)霉。

藥物生產(chǎn)車間溫濕度要求

潔凈區(qū)（無菌環(huán)境）：溫度宜在 20-24℃，相對(duì)濕度：45-60%RH；

控制區(qū)（無菌環(huán)境）：溫度宜在 18-26℃，相對(duì)濕度：50-65%RH。

示例五（SMT表面貼裝）

       SMT貼裝車間對(duì)溫度和濕度有明確的要求，首先主要是為了錫膏能工作在一個(gè)較好的環(huán)境 ，溫度會(huì)影響錫膏的活性，對(duì)于里面所添加的助焊劑的相關(guān)溶劑的活性有一定的影響。溫度高會(huì)增加其的活性，最終影響絲印貼裝及回流的效果。容易出現(xiàn)虛焊，焊點(diǎn)不光澤等現(xiàn)象。 濕度的大小回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少，如過吸如過多水氣，會(huì)使回流時(shí)產(chǎn)生氣空，飛漸，連焊等現(xiàn)象。故而SMT恒溫恒濕車間溫濕度標(biāo)準(zhǔn): 溫度: 24±2℃ 濕度: 50±10%。

       并非所有凈化車間都設(shè)計(jì)為恒溫恒濕凈化車間嗎？必須根據(jù)生產(chǎn)過程的要求設(shè)計(jì)空調(diào)系統(tǒng)的溫度和濕度。

示例六（食品行業(yè)及保健食品）

       食品/保健品車間對(duì)對(duì)生產(chǎn)潔凈度要求是比較高的，通常為10萬級(jí)及萬級(jí)部分行業(yè)要求千級(jí)/百級(jí)以上，但同時(shí)車間的濕度越低越容易滋生細(xì)菌，細(xì)菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲)在相對(duì)濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對(duì)濕度超過30%時(shí)就可以增長(zhǎng)。在相對(duì)濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至最低。如果濕度過高，產(chǎn)品會(huì)變質(zhì)。同時(shí)，溫度不宜過高。如果溫度過高，生產(chǎn)者在出汗后會(huì)暴露在產(chǎn)品中，這會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成污染并降低產(chǎn)品的質(zhì)量/產(chǎn)量。

綜合常見領(lǐng)域，我們可總結(jié)得出溫濕度對(duì)凈化車間的影響有如下幾種：

1、細(xì)菌生長(zhǎng); 2、人員的舒適感; 3、出現(xiàn)靜電荷; 4、金屬腐蝕; 5、水汽冷凝; 6、光刻的退化; 7、吸水性。

       凈化車間溫度作為總的原則看，加工精度越來越精細(xì)，對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。所以無塵車間的溫濕度控制由其生產(chǎn)工藝決定，但其精度同時(shí)也要看其房間的大小例如計(jì)量室、光柵刻線室、精密儀器制造和裝配車間等。前兩者都為小房間，空調(diào)精度(這里主要指溫濕度)要求高；后兩者為較大的生產(chǎn)車間，溫濕精度要求較低。所以其房間大小也會(huì)決定恒溫恒濕車間的精度。