2025-10-21
十級無塵車間是先進(jìn)半導(dǎo)體制造的基石,其要求每立方米空氣中≥0.1μm的微粒不得超過10個。控制對象已從肉眼可見的塵埃轉(zhuǎn)向微觀粒子,其控制策略是一項覆蓋氣流、材料、人員、工藝的全方位系統(tǒng)工程。一起來看在十級芯片廠房無塵車間裝修過程中有效的控制方法:
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芯片廠房無塵車間
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